(VI) Phương pháp chế tạo cảm biến nhiệt điện (THERMOPILE) đo lưu lượng khí

(VI) Giải pháp hữu ích đề cập đến phương pháp chế tạo cảm biến nhiệt điện đo lưu lượng khí, bao gồm: a) tạo lớp silic dioxit trên cả hai mặt tấm bán dẫn (wafer) ở nhiệt độ 1150°c trong thời gian 120 phút thông qua thiết bị oxi hóa nhiệt; b) phủ lớp kim loại Cr lên mặt thứ nhất của tấm bán dẫn bằng thiết bị phún xạ; và tạo hình linh kiện nhiệt điện Cr thông qua thiết bị quang khắc và ăn mòn kim loại; c) phủ lớp kim loại Ni lên mặt thứ nhất của tấm bán dẫn chứa linh kiện nhiệt điện Cr; và tạo hình linh kiện nhiệt điện Ni xen kẽ với linh kiện nhiệt điện Cr thông qua quá trình quang khắc và ăn mòn kim loại; d) phủ lớp kim loại tạo nguồn nhiệt lên mặt thứ nhất của tấm bán dẫn chứa linh kiện nhiệt điện Ni và linh kiện nhiệt điện Cr; và tạo hình linh kiện nguồn nhiệt thông qua thiết bị quang khắc và ăn mòn kim loại; e) tạo khoang rỗng trên mặt thứ hai tấm bán dẫn và lỗ rỗng trên mặt thứ nhất tấm bán dẫn; trong đó khoang rỗng có phạm vi chứa tất cả linh kiện nhiệt điện Ni và linh kiện nhiệt điện Cr; và lỗ rỗng nằm hai bên linh kiện nguồn nhiệt; và f) tạo chip bán dẫn cho cảm biến nhiệt điện đo lưu lượng dòng khí.