OCR 07AP
1. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) สำหรับถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งประกอบรวมด้วย:
แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และแป้นหมุนที่สอง (20) ซึ่งแต่ละตัวประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของ
ของหน่วยหยิบจับ (40) สำหรับหยิบจับและถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์;
ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ โดย
โต๊ะถ่ายโอน (30) ที่ถูกจัดตำแหน่งระหว่างแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และแป้นหมุนที่สอง (20) ที่
ถูกจัดโครงแบบให้หมุนและถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ระหว่างแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และแป้น
หมุนที่สอง (20);
ที่ซึ่งโต๊ะถ่ายโอน (30) ประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของช่องสลอทยึดหน่วง (32)ที่ถูกจัด
โครงแบบให้จับแพ็กเกจ,
ที่ซึ่งช่องสลอทยึดหน่วง (32) ถูกจัดกลุ่มในจำนวนหนึ่งของกลุ่มช่องสลอท (34), แต่ละกลุ่ม
ช่องสลอท (34)ประกอบรวมด้วยจำนวนที่กำหนดล่วงหน้าของช่องสลอทยืดหน่วง (32) ที่ถูกจัดเรียง
ในรูปแบบที่ตั้งไว้ล่วงหน้า,
ที่ซึ่งช่องสลอทยึดหน่วง (32) ของกลุ่มช่องสลอท (34)ถูกจัดแนวกับหน่วยหยิบจับ (40) บน
ส่วนหนึ่งของแป้นหมุนที่หนึ่ง (10)หรือแป้นหมุนที่สอง (20) ที่ถูกจัดโครงแบบให้:
- รับหลายแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์อย่างพร้อมกันจากหน่วยหยิบจับ (40)ของแป้นหมุนที่
หนึ่ง (10) หรือแป้นหมุนที่สอง (20) หรือ
- ยอมให้หลายแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ถูกหยิบจับขึ้นอย่างพร้อมกันโดยแป้นหมุนที่หนึ่ง
(10) หรือแป้นหมุนที่สอง (20)
2. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งโต๊ะถ่ายโอน (30)ถูกจัดโครง
แบบสำหรับถ่ายโอนสองทิศทางของแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ระหว่างแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และแป้น
หมุนที่สอง (20)
3. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งโต๊ะถ่ายโอน (30) สามารถ
หมุนได้ในลักษณะที่ว่าเมื่อหนึ่งกลุ่มของกลุ่มช่องสลอท (34) ถูกจัดแนวกับแป้นหมุนที่หนึ่ง (10), อีก
กลุ่มหนึ่งของกลุ่มช่องสลอท (34) ถูกจัดแนวอย่างพร้อมกันกับแป้นหมุนที่สอง (20)
4. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 3 ที่ซึ่งโต๊ะถ่ายโอน (30) ถูกจัดโครง
แบบให้:
- รับจำนวนหนึ่งของแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์จากแป้นหมุนที่หนึ่ง (10), และ
- ยอมให้จำนวนหนึ่งของแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ถูกหยิบจับขึ้นโดยแป้นหมุนที่สอง (20)
หรือในทางกลับกัน
5. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งจำนวนของช่องสลอทยึด
หน่วง (32) ในกลุ่มช่องสลอท (34) สอดคล้องกับจำนวนของแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งสามารถถูก
หยิบจับขึ้นโดยแป้นหมุนที่สอง (20) อย่างพร้อมกัน
6. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) ถูกจัด
ตำแหน่งใกล้กับแต่ละโมดูล (50) ของระบบตัวจัดการสำหรับถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ไปยัง
และจากโมดูล (50)
7. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) ถูกจัด
โครงแบบให้หยิบจับขึ้นแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่ถูกทดสอบจากโมดูล (50), วางแพ็กเกจเซมิคอน
ดักเตอร์ที่ไม่ถูกทดสอบลงบนโต๊ะถ่ายโอน (30), หยิบจับขึ้นแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูกทดสอบจาก
โต๊ะถ่ายโอน (30) และย้อนกลับแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูกทดสอบไปยังโมดูล (50)
8. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งแป้นหมุนที่สอง (20) ถูกจัด
ตำแหน่งใกล้กับบริเวณทดสอบ (60) สำหรับถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ไปยังและจากบริเวณ
ทดสอบ (60)
9. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 8 ที่ซึ่งแป้นหมุนที่สอง (20) ถูกจัด
โครงแบบให้หยิบจับขึ้นแพ็กเกจที่ไม่ถูกทดสอบจากโต๊ะถ่ายโอน (30), วางแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่
ไม่ถูกทดสอบเข้าไปในบริเวณทดสอบ (60) และย้อนกลับแพ็กเกจที่ถูกทดสอบไปยังโต๊ะถ่ายโอน (30)
สำหรับการเก็บรวบรวมโดยแป้นหมุนที่หนึ่ง (10)
10. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และ
แป้นหมุนที่สองเป็นแบบไม่ประสานเวลากันและกัน
11. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งโต๊ะถ่ายโอน (30) กำหนด
ตำแหน่งขยับเปลี่ยนที่เป็นศูนย์เป็นการอ้างอิงสำหรับการหมุนเชิงมุมเพื่อยอมให้การจัดแนวพร้อมกัน
กับแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และที่สอง (20)
12. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) สำหรับถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์มีลักษณะเฉพาะโดย:
แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) ซึ่งประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของหน่วยหยิบจับ (40) สำหรับหยิบ
จับและถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์,แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) ที่ถูกจัดโครงแบบให้เคลื่อนที่โดย
หนึ่งช่วงห่างในหนึ่งระดับขั้นที่ซึ่งหนึ่งช่วงห่างสอดคล้องกับการเคลื่อนที่เชิงมุมของแป้นหมุนจาก
ตำแหน่งของหนึ่งหน่วยหยิบจับ (40) ไปยังตำแหน่งของหน่วยหยิบจับ (40) ที่อยู่ใกล้ที่ไม่มีสิ่งใด
ระหว่างนั้น;
แป้นหมุนที่สอง (20) ซึ่งประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของหน่วยหยิบจับ (40)สำหรับหยิบจับ
และถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์,แป้นหมุนที่สอง (20) ที่ถูกจัดโครงแบบให้เคลื่อนที่โดยจำนวน
n ของช่วงห่างในหนึ่งระดับขั้น;
โต๊ะถ่ายโอน (30) ที่ถูกจัดตำแหน่งระหว่างแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และแป้นหมุนที่สอง (20)ที่
ถูกจัดโครงแบบให้หมุนและถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์, โต๊ะถ่ายโอน (30) ซึ่งประกอบรวมด้วย
จำนวนหนึ่งของช่องสลอทยึดหน่วง (32) ที่ถูกจัดโครงแบบให้จับแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์,
ที่ซึ่งช่องสลอทยึดหน่วง (32) ถูกจัดกลุ่มในจำนวน m ของกลุ่มช่องสลอท (34), โต๊ะถ่ายโอน
(30) สามารถหมุนได้ในลักษณะที่ว่ากลุ่มช่องสลอทอย่างน้อยหนึ่งกลุ่มถูกจัดแนวกับ 1 หน่วยของ
หน่วยหยิบจับของแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และกลุ่มช่องสลอทอย่างน้อยอีกหนึ่งกลุ่มถูกจัดแนวกับ ก
หน่วยของหน่วยหยิบจับของแป้นหมุนที่สอง (20) เพื่อยอมให้มีการถ่ายโอนพร้อมกันโดยแป้นหมุนที่
หนึ่ง (10) และแป้นหมุนที่สอง (20) ที่ซึ่งn และ m ตามลำดับคือจำนวนเต็มมากกว่า 1;
จำนวนหนึ่งของบริเวณทดสอบ (60) ที่ถูกจัดให้มีใน n หน่วย, ที่ถูกจัดวางใกล้เส้นรอบนอก
ของแป้นหมุนที่สอง (20) ที่ถูกจัดโครงแบบสำหรับการทดสอบแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์จากแป้น
หมุนที่สอง (20);
จำนวนหนึ่งของโมดูล (50) ที่ถูกจัดวางใกล้เส้นรอบนอกของแป้นหมุนที่หนึ่ง (10),โมดูล
(50) ถูกวางห่างกันและกันที่ระยะทางสอดคล้องกับหนึ่งช่วงห่างของแป้นหมุนที่หนึ่ง (10);
ที่ซึ่งเมื่อแป้นหมุนที่สอง (20) เดินเบาระหว่างการทดสอบแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ในบริเวณ
ทดสอบ (60), แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) เคลื่อนที่ต่อเนื่องโดยหนึ่งช่วงห่างสำหรับจัดการแพ็กเกจเซมิคอน
ดักเตอร์ระหว่างกับโมดูล (50)
13. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) ตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 12 ที่ซึ่งจำนวนหนึ่งของโมดูล (50)
รวมถึงอย่างน้อยหนึ่งโมดูลของโมดูลจ่ายสำหรับการจัดให้มีแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่จะถูกทดสอบ
และโมดูลการรับสำหรับเก็บรวบรวมแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูกทดสอบที่ถูกกำหนดว่ายอมรับได้
14. วิธีการสำหรับถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการทดสอบซึ่งมีลักษณะเฉพาะ
โดยขั้นตอนของ:
ขั้นตอนถ่ายโอนที่หนึ่งที่ซึ่งแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) เคลื่อนที่โดยหนึ่งช่วงห่างสำหรับแต่ละ
ระดับขั้นสำหรับการเคลื่อนที่แพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่ถูกทดสอบเพื่อจัดแนวกับจำนวน 1 ของ
ช่องสลอทยึดหน่วง (32) บนกลุ่มช่องสลอท (34) ของโต๊ะถ่ายโอน (30), แป้นหมุนที่สอง (20)
เคลื่อนที่โดยจำนวน n ของช่วงห่างสำหรับแต่ละระดับขั้นสำหรับการเคลื่อนที่แพ็กเกจเซมิคอนดัก
เตอร์ที่ถูกทดสอบเพื่อจัดแนวกับจำนวน ก ของช่องสลอทยึดหน่วงบนอีกหนึ่งกลุ่มช่องสลอท (34)
ของโต๊ะถ่ายโอน (30), แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) วางจำนวน n ของแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่ถูก
ทดสอบไปยังช่องสลอทยึดหน่วง (32) ที่ถูกจัดแนวและแป้นหมุนที่สอง (20) วางแพ็กเกจเซมิคอนดัก
เตอร์ไปยังช่องสลอทยึดหน่วง (32) ที่ถูกจัดแนวของกลุ่มช่องสลอทอื่น โดยที่ n คือจำนวนเต็มมากกว่า
1;
ขั้นตอนถ่ายโอนที่สองที่ซึ่งโต๊ะถ่ายโอน (30) เคลื่อนที่ดังนั้นแล้วแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่
ไม่ถูกทดสอบถูกจัดแนวกับหน่วยหยิบจับของแป้นหมุนที่สอง (20) และแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูก
ทดสอบถูกจัดแนวกับหน่วยหยิบจับของแป้นหมุนที่หนึ่ง (10);
ขั้นตอนถ่ายโอนที่สามที่ซึ่งแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) หยิบจับขึ้นแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูก
ทดสอบจากโต๊ะถ่ายโอน (30) และแป้นหมุนที่สอง (20) หยิบจับขึ้นแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่ถูก
ทดสอบอย่างพร้อมกันจากโต๊ะถ่ายโอน (30);
ที่ซึ่งขั้นตอนถ่ายโอนที่หนึ่ง, ที่สองและที่สามถูกกระทำอย่างเป็นลำดับในวัฏจักรซ้ำสำหรับ
การทำให้การปฏิบัติการเกิดผลซึ่งรวมถึง
ขั้นตอนการทดสอบที่หนึ่งซึ่งประกอบรวมด้วยการถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์จากแป้น
หมุนที่สอง (20) ไปยังจำนวนหนึ่งของบริเวณทดสอบ (60) สำหรับการทดสอบพร้อมกัน, ขั้นตอนการ
ทดสอบที่หนึ่งถูกกระทำหลังจากขั้นตอนถ่ายโอนที่สองและระหว่างขั้นตอนถ่ายโอนที่หนึ่ง;
การถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูกทดสอบจากแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) ไปยังโมดูล (50)
ระหว่างขั้นตอนถ่ายโอนที่หนึ่ง
15. ระบบแป้นหมุนคู่ (1) สำหรับถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งประกอบรวมด้วย:
แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) ซึ่งประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของหน่วยหยิบจับ (40) สำหรับหยิบ
จับและถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนตักเตอร์, แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) ที่ถูกจัดโครงแบบให้เคลื่อนที่โดย
หนึ่งช่วงห่างในหนึ่งระดับขั้นที่ซึ่งหนึ่งช่วงห่างสอดคล้องกับการเคลื่อนที่เชิงมุมจากตำแหน่งของหนึ่ง
หน่วยหยิบจับ (40) ไปยังตำแหน่งของหน่วยหยิบจับ (40) ที่อยู่ใกล้ที่ไม่มีสิ่งใดระหว่างนั้น;
แป้นหมุนที่สอง (20) ซึ่งประกอบรวมด้วยจำนวนหนึ่งของหน่วยหยิบจับ (40) สำหรับหยิบจับ
และถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์,แป้นหมุนที่สอง (20) ที่ถูกจัดโครงแบบให้เคลื่อนที่โดยช่วง
ห่างหนึ่งหรือมากกว่าหนึ่งช่วงห่างในหนึ่งระดับขั้น;
โต๊ะถ่ายโอน (30) ที่ถูกจัดตำแหน่งระหว่างแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และแป้นหมุนที่สอง (20) ที่
ถูกจัดโครงแบบให้หมุนและถ่ายโอนแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์,โต๊ะถ่ายโอน (30) ซึ่งประกอบรวมด้วย
จำนวนหนึ่งของช่องสลอทยึดหน่วง (32) ที่ถูกจัดโครงแบบให้จับแพ็กเกจ,
ที่ซึ่งช่องสลอทยึดหน่วง (32) ถูกจัดกลุ่มในจำนวน m ของกลุ่มช่องสลอท (34), กลุ่มช่อง
สลอทอย่างน้อยหนึ่งกลุ่มถูกจัดแนวกับ 5 หน่วยของหน่วยหยิบจับของแป้นหมุนที่หนึ่ง (10)และกลุ่ม
ช่องสลอทอย่างน้อยอีกหนึ่งกลุ่มถูกจัดแนวกับ 1 หน่วยของหน่วยหยิบจับของแป้นหมุนที่สอง (20)
เพื่อยอมให้มีการหยิบจับพร้อมกัน โดยแป้นหมุนที่หนึ่ง (10) และแป้นหมุนที่สอง (20) ที่ซึ่ง n และ m
ตามลำดับคือจำนวนเต็มมากกว่า 1;
จำนวนหนึ่งของบริเวณทดสอบ (60) ที่ถูกจัดให้มีในจำนวน n ของหน่วยสำหรับรับแพ็กเกจเซ
มิคอนดักเตอร์สำหรับการทดสอบ, แต่ละบริเวณทดสอบ (60) กระทำฟังก์ชั่นการทดสอบที่เหมือนกัน
หรือแตกต่างกัน;
ตัวควบคุมสำหรับควบคุมแป้นหมุนที่หนึ่ง (10), แป้นหมุนที่สอง (20), หน่วยหยิบจับ (40)
และโต๊ะถ่ายโอน (30), ตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบให้ควบคุมจำนวนช่วงห่างในแต่ละระดับขั้นของ
แป้นหมุนที่สอง (20) ที่ทำให้สามารถมีการเลือกการปฏิบัติการจากโหมดการทดสอบที่หนึ่งและโหมด
การทดสอบที่สองของระบบได้ที่ซึ่ง
ในโหมดการทดสอบที่หนึ่ง,แต่ละบริเวณทดสอบ (60) กระทำการทดสอบที่แตกต่างกัน
แป้นหมุนที่หนึ่งและที่สอง (10, 20) เคลื่อนที่โดยหนึ่งช่วงห่างในแต่ละระดับขั้น, แป้นหมุนที่หนึ่ง
(10) กับจำนวน nของหน่วยหยิบจับที่มีแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่ถูกทดสอบที่ถูกจัดแนวกับกลุ่ม
ช่องสลอทบนโต๊ะถ่ายโอน (30), แป้นหมุนที่สอง (20) กับจำนวน 1 ของหน่วยหยิบจับที่มีแพ็กเกจเซมิ
คอนดักเตอร์ที่ถูกทดสอบที่ถูกจัดแนวกับกลุ่มช่องสลอทอื่นของโต๊ะถ่ายโอน,สำหรับถ่ายโอนพร้อม
กันของแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ด้วยแป้นหมุนที่หนึ่งและที่สอง (10, 20),
ในโหมดการทดสอบที่สอง, แต่ละจำนวน n ของบริเวณทดสอบ (60) กระทำการทดสอบที่
เหมือนกัน, แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) เคลื่อนที่โดยหนึ่งช่วงห่างในแต่ละระดับขั้นและแป้นหมุนที่สอง
(20) เคลื่อนที่โดยจำนวน n ของช่วงห่างในแต่ละระดับขั้น, แป้นหมุนที่หนึ่ง (10) กับจำนวน n ของ
หน่วยหยิบจับที่มีแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่ถูกทดสอบที่ถูกจัดแนวกับกลุ่มช่องสลอทบนโต๊ะถ่าย
โอน (30), แป้นหมุนที่สอง (20) กับจำนวน n ของหน่วยหยิบจับที่มีแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูก
ทดสอบที่ถูกจัดแนวกับกลุ่มช่องสลอทอื่นของโต๊ะถ่ายโอน (30), สำหรับถ่ายโอนพร้อมกันของ
แพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์ด้วยแป้นหมุนที่หนึ่งและที่สอง (10, 20)